Обычно используемые полировальные порошки получают из смеси редкоземельных элементов, дополненных фторидом, кварцем, кальцием, барием, железом и небольшим количеством других примесей. С 60-х по 70-е годы 20-го века процесс приготовления и метод производства полировальных порошков достигли относительно концентрированных исследовательских результатов. Обычно используемый процесс приготовления заключается в химическом изменении обогащения редкоземельных элементов в твердом состоянии для преобразования их в соединения со стабильными механическими и химическими свойствами. Содержание оксида редкоземельного элемента составляет 40~70% (содержащего 30~65% оксида), а размер частиц составляет 1~4 микрона. Полировальный порошок относительно дешев, имеет высокую скорость резки и широко используется. Он в основном используется для полировки электронно-лучевых трубок, плоского стекла и линз. Второй тип полировального порошка на основе оксида производится путем химического осаждения.
Редкоземельные осадки прокаливаются в стабильный оксид и измельчаются в мелкий порошок. Обычно содержит 70~100% редкоземельных оксидов (40~100% оксидов). Преимущество этого продукта в том, что состав однороден, а размер частиц и форма согласованы, но он в основном используется для оптического стекла. Специальное стекло полируется с использованием высокого уровня полирующего порошка (более 99% оксида). Его форма частиц и твердость однородны, высокая чистота, однородная поверхность, отсутствие дефектов, отсутствие загрязнения примесями. Он обычно используется при полировке прецизионных оптических приборов, лазерных кристаллов и полупроводниковых компонентов. Требования к редкоземельным полирующим порошкам отличаются от требований к аналогичным редкоземельным продуктам. В случае полирующих порошков, хотя также существуют требования к химической чистоте, это не решающий фактор, но решающий фактор.
Поэтому приготовление полировального порошка на основе редкоземельных металлов должно быть наделено надлежащими физическими свойствами на основе определенного химического состава, такими как размер частиц, однородность, кристаллические свойства, твердость, пропорции и т. д. Эти свойства должны быть скорректированы в процессе приготовления, включая осаждение и прокаливание.