Классификация по производительности:
(1) Керамика из оксида иттрия высокой-чистоты
В области электронной техники требования к чистоте материалов чрезвычайно высоки. Керамика из оксида иттрия высокой-чистоты (например, с содержанием не менее 99,99%) обеспечивает стабильную работу оборудования для производства электронных компонентов. Если взять в качестве примера керамические диски из-оксида иттрия высокой чистоты, то их превосходная стойкость к коррозии, плазменной стойкости и высокой-термостойкости обеспечивают стабильную работу оборудования в течение продолжительных периодов времени при высоких-температурах и суровых условиях, сокращая количество сбоев оборудования и простоев, вызванных проблемами с материалами, продлевая срок службы компонентов, а также снижая частоту обслуживания и замены. Это важнейшая поддержка для обеспечения стабильной работы производственного оборудования, гарантии качества продукции и повышения эффективности производства.
(2) Электроизоляционная керамика на основе оксида иттрия
Для компонентов, используемых в реакционных камерах высокого-напряжения и высокого-тока, важным показателем оценки является электрическая изоляция. Покрытия из оксида иттрия благодаря своим превосходным электроизоляционным свойствам по сравнению с покрытиями из оксида алюминия являются идеальным выбором для обеспечения стабильного производства оборудования. На примере верхнего электрода, покрытого оксидом иттрия, в нем используется анодирование для распыления порошка оксида иттрия высокой-чистоты на поверхность подложки, образующего однородное и гладкое покрытие с высокой электрической изоляционной прочностью, низкой диэлектрической проницаемостью и высоким удельным сопротивлением. Это эффективно предотвращает утечку тока, снижает помехи сигнала и обеспечивает стабильную работу электронного оборудования в экстремальных условиях. Поэтому он широко используется при производстве и упаковке электронных компонентов для фиксации положения электронных компонентов, предотвращения коротких замыканий или перегрузок и обеспечения нормальной работы цепей.
По классификации приложений:
(1) Керамика на основе оксида иттрия для компонентов модуля.
Оксид иттрия для компонентов модулей в основном используется в оборудовании для производства электронных компонентов. Если взять в качестве примера керамические кольца из оксида иттрия, то в устройствах плазменной обработки кольца из оксида иттрия служат изолирующими подложками, эффективно уменьшая дуговой разряд между устройством и заземляющей частью. По сравнению с кварцевыми кольцами кольца из оксида иттрия из-за своей меньшей реакционной способности и более высокой диэлектрической проницаемости менее склонны вступать в реакцию с материалами, что позволяет лучше передавать электромагнитные волны и обеспечивает более однородные условия подложки для производства электронных компонентов.
(2) Покрытие из оксида иттрия
Покрытие из оксида иттрия наносится на поверхность объекта путем распыления или нанесения покрытия с образованием высокоэффективного-защитного материала, особенно подходящего для оборудования, которое должно выдерживать экстремальные физические и химические воздействия. Он обладает превосходной-температурной стойкостью, износостойкостью и коррозионной стойкостью, поддерживает стабильную работу при высоких-температурах, высоких-давлениях и сильно агрессивных средах, значительно повышает долговечность и надежность оборудования, эффективно снижает загрязнение твердыми частицами, образующееся при производстве электронных компонентов, а также повышает эффективность оборудования и точность производства.